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在线膜厚检测系统

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A5-SR系列

  • 所属分类：在线膜厚检测系统
  • 浏览次数：1174次
  • 发布日期：2023/10/17 15:03:41
  • 概述
A5-SR系列显微式反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜。具体包括但不限于氧化硅，氮化硅，多晶硅，PI，光刻胶等透明半透明的材料，测量范围在20纳米到30微米。光斑小于40微米。A5-SR系列可根据客户给出的Die分布图和标记，对整个硅片进行自动寻找，自动测量。
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